機臺型號：Suncola-PR60/80L
整機規格：PR60L: 6層1200mm(W)×960mm(D)×1720mm（H）
                PR80L:8層 920mm(W)×1030mm(D)×1720mm（H）
電極規格：6層平板式電極板（383mm×317mm）
                8層平板式電極板（420mm×360mm）
電源系統：0-1000W等離子體發生源（40KHz，可選13.56MHz）
控制系統：觸摸屏+PLC自動控制
進氣系統：2—5路工作氣體可選：Ar2、N2、H2、CF4、O2

特 點：高精度，快響應，良好的操控性和兼容性，完善的功能和專業的技術支持

用 途：適用于攝像頭及行業，手機制造、半導體IC領域，硅膠、塑膠、聚合體領域，汽車電子行業，航空工業等等。
?1、攝像頭、指紋識別行業：軟硬結合板金PAD表面去氧化；IR表面清洗、清潔。
2、半導體IC領域：COB、COG、COF、ACF工藝，用于打線、焊接前的清洗
3、硅膠、塑膠、聚合體領域：硅膠、塑膠、聚合體的表面粗化、刻蝕、活化。